| 发明名称 | 微系统和在微系统中相对于第一元件来定位第二元件的方法 | ||
| 摘要 | 一种微系统，包括第一静态元件(1)，第二可移动并且独立的元件(2)，用于在所述第一和第二元件(1、2)之间产生力的致动器(3)，所述致动器(3)被设计为控制所述第一元件(1)和所述第二元件(2)之一的温度(T1、T2)。介绍了在微系统中用于相对于第一元件(1)来定位第二元件(2)的相应方法。 | ||
| 申请公布号 | CN101035739B | 申请公布日期 | 2011.12.14 |
| 申请号 | CN200580034207.X | 申请日期 | 2005.09.29 |
| 申请人 | 国际商业机器公司 | 发明人 | M·德蓬;U·T·迪里希;B·W·格茨曼 |
| 分类号 | B81B3/00(2006.01)I | 主分类号 | B81B3/00(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京市中咨律师事务所 11247 | 代理人 | 于静;李峥 |
| 主权项 | 一种微系统，包括：静态的第一元件(1)，可移动并且独立的第二元件(2)，其中所述独立的第二元件(2)是指所述第二元件(2)是自由的且与任何静态元件之间不存在机械连接，致动器(3)，所述致动器(3)用于在所述第一和第二元件(1、2)之间产生努森力，所述致动器(3)被设计为控制所述第一元件(1)和所述第二元件(2)中的至少一个的温度(T1，T2)以便通过在所述第一元件(1)和所述第二元件(2)之间应用温差来产生努森力。 | ||
| 地址 | 美国纽约 | ||