除电装置和除电方法

摘要

本发明涉及除电装置、除电方法以及程序记录介质，该除电装置能够消除静电的影响，即使是65nm工艺以后的超微细结构的被检查体也能提高被检查体的检查的可靠性，并且能够可靠地防止器件的损伤。本发明的除电装置(20)中，主卡盘(14)与探测卡(15)相对移动，在主卡盘(14)上的晶片W与探测卡(15)电接触，进行晶片(W)的电特性检查时，经由主卡盘(14)除去晶片(W)的静电，并且包括：将主卡盘(14)接地的接地用配线(22)、设在该接地用配线(22)中的继电器开关(23)和开闭控制该继电器开关(23)的开关控制器(26)。

主权项

一种除电装置，其特征在于，该除电装置中，被检查体的载置台与探测卡相对移动，在所述载置台上的所述被检查体与所述探测卡电接触而检查所述被检查体的电特性时，在所述被检查体与所述探测卡没有电接触时经由所述载置台除去所述被检查体的静电，该除电装置包括：将所述载置台接地的接地用配线；设在该接地用配线中的继电器开关和开闭控制该继电器开关的控制器，所述载置台具有成为所述被检查体的载置面的顶板，所述接地用配线与在所述顶板的上面所形成的第一导体膜连接，所述载置台经由电缆与测试头连接，所述测试头与所述探测卡电接触，所述接地用配线与所述电缆的中心导体电连接。