太阳能晶圆倍速光电检测系统、检测方法及检测机台

摘要

本发明适用于太阳能晶圆检测技术领域，提供了一种太阳能晶圆倍速光电检测系统、检测方法及检测机台，用以检测复数待测太阳能晶圆，机台包含一个基座，于基座上设置复数道输送带，用以同时承载及移动多个待测太阳能晶圆进行检测，机台上还设有光学检测系统及倍速光电检测系统，由光学检测系统同时进行各输送带承载的晶圆表面及颜色的检测作业后，再由倍速光电检测系统通过同一个光源进行光电检测，使得各个晶圆于光电检测后所得数据具有相同的比较值，并规划检测时的程序，以增加其检测的效率，最后将各个检测数据传至分类系统做为分类的依据。

主权项

一种太阳能晶圆倍速光电检测系统，用于太阳能晶圆检测机台，用以检测至少一片待测太阳能晶圆，其中该待测太阳能晶圆具有一个收光面及一组用来将所接收光转换为电能输出的导电总线，且该检测机台具有一个基座，其特征在于，该检测系统包括：一组设置于该基座上的移动装置，该组移动装置包括复数道输送件，且每一输送件分别对应有一个供该待测太阳能晶圆受测的检测位置；一组光照切换装置，包括：一个光源；及一个切换该光源所发光能至该等检测位置的切换器；及一组驱动导接装置，包括：复数组分别对应各该检测位置的导接电极；及复数组分别驱动该等导接电极导接该待测太阳能晶圆的导接总线的驱动件。