多重气体感测器及其制作方法

摘要

一种多重气体感测器，包括：一基板、一磊晶层、一金属氧化物层、一第一金属层、一第二金属层及多个第三金属层。磊晶层成长于基板上，并且具有一第一磊晶结构及一第二磊晶结构，第一磊晶结构及第二磊晶结构之间具有一间隙。金属氧化物层成长于第一磊晶结构上；第一金属层成长于第二磊晶结构上，且第一金属层具有至少两种金属；第二金属层成长于第二磊晶结构上，并且第二金属层与第一金属层之间保持一段距离；以及，第三金属层成长于金属氧化物层、第一金属层及二金属层上。

主权项

一种多重气体感测器，包括：一基板；一磊晶层，成长于该基板上，该磊晶层具有一第一磊晶结构及一第二磊晶结构，该第一磊晶结构及该第二磊晶结构之间具有一间隙；一金属氧化物层，成长于该第一磊晶结构上；一第一金属层，成长于该第二磊晶结构上，且该第一金属层具有至少两种金属；一第二金属层，成长于该第二磊晶结构上，并且该第二金属层与该第一金属层之间保持一段距离；以及多个第三金属层，成长于该金属氧化物层、该第一金属层及该二金属层上。