MEMS模拟检波器机芯

摘要

本发明涉及一种MEMS模拟加速度检波器的机芯，该MEMS模拟检波器机芯包括信号转换器、阻抗转换器以及微机械震动系统；信号转换器通过阻抗转换器接入微机械震动系统。本发明提供了一种MEMS模拟检波器机芯，解决了阻尼源与惯性体相分离，无法使惯性体的质量和阻尼同时具有较好的一致性，因而无法保证传感器所采集到的波形的一致性，以及产品工艺精度及产品性能的一致性不易确保的技术问题。

主权项

一种MEMS模拟检波器机芯，其特征在于：所述MEMS模拟检波器机芯包括信号转换器、阻抗转换器以及微机械震动系统；所述信号转换器通过阻抗转换器接入微机械震动系统。