| 主权项 |
一种还原混合气加热与还原尾气降温相结合装置，是由：氢气进口(1)，氢气进气管道(2)，三氯氢硅进口(3)，混合气出口(4)，热媒进口(5)，热媒出口(6)，还原尾气进口(7)，还原尾气出口(8)，列管层(9)，冷媒进口(10)，冷媒上出口(11)，冷媒下出口(12)，三氯氢硅残液出口(13)，液位计上连接口(14)，液位计下连接口(15)，封头(16)，筒体(17)构成，其特征在于：口径相同的双层圆筒形的封头(16)与双层筒体(17)口部相对应设置，封头(16)内层的上方通过管道穿过外层设置还原尾气进口(7)，封头(16)外层设置冷媒上出口(11)在还原尾气进口(7)的一侧，封头(16)内层的下方通过管道穿过外层设置还原尾气出口(8)，封头(16)外层的一侧设置冷媒进口(10)；封头(16)外层的下方还原尾气出口(8)的一侧设置冷媒下出口(12)；筒体(17)的内层与外层同心设置，筒体(17)内层的中部同心设置列管层(9)，筒体(17)内层上方的一端通过管道穿过外层设置混合气出口(4)，筒体(17)的外层上方，混合气出口(4)的一侧设置热媒出口(6)，筒体(17)内层上方的另一端通过管道穿过外层设置三氯氢硅进口(3)，三氯氢硅进口(3)的一侧通过管道穿过内、外层设置氢气进口(1)，氢气进口(1)的下端设置L形的氢气进气管道(2)，筒体(17)内层的一侧上部通过管道穿过外层设置液位计上连接口(14)，筒体(17)内层的一侧下部通过管道穿过外层设置液位计下连接口(15)，筒体(17)内层的下方一端通过管道穿过外层设置三氯氢硅残液出口(13)，筒体(17)外层的下方另一端设置热媒进口(5)。 |
