一种单晶炉的真空系统

摘要

本实用新型涉及一种单晶炉的真空系统，属于单晶炉技术领域，旨在解决真空泵的振动对系统的影响。该单晶炉的真空系统包括单晶炉、真空泵、吸气总管及排气总管，真空泵设有真空泵吸气口及真空泵排气口，真空泵排气口通过排气支管与排气总管相连，吸气总管与单晶炉的抽吸口相连，真空泵与吸气总管之间设有过滤器，过滤器进口管道与吸气总管相连通，过滤器出口管道与真空泵吸气口相连接，过滤器出口管道为金属软管，过滤器的进口处安装有膨胀节并通过膨胀节与过滤器进口管道相连，真空泵通过弹性地脚支撑在地面上。真空泵通过弹性地脚支撑在地面上，能够吸收一部分振动，在过滤器的进出口分别设置膨胀节及金属软管可以减小振动的传递。

主权项

一种单晶炉的真空系统，包括单晶炉、真空泵、吸气总管及排气总管，所述真空泵设有真空泵吸气口及真空泵排气口，所述真空泵排气口通过排气支管与所述排气总管相连，所述吸气总管与所述单晶炉的抽吸口相连，所述真空泵与所述吸气总管之间设有过滤器，所述过滤器进口管道与所述吸气总管相连通，所述过滤器出口管道与所述真空泵吸气口相连接，其特征在于：所述过滤器出口管道为金属软管，所述过滤器的进口处安装有膨胀节并通过膨胀节与过滤器进口管道相连，所述真空泵通过弹性地脚支撑在地面上。