发明名称
摘要
申请公布号 JP4838868(B2) 申请公布日期 2011.12.14
申请号 JP20090066032 申请日期 2009.03.18
申请人 发明人
分类号 H01L21/31;H01L21/00;H01L21/316 主分类号 H01L21/31
代理机构 代理人
主权项
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