具有应变元件的精密力传感器

摘要

对于具有弹性元件(1)的精密力传感器，其由负载决定的偏移通过应变元件(10)转换成电信号，提出：所述弹性元件(1)由具有在36％和60％之间的镍含量的和在15％和25％之间的铬含量的可沉淀硬化的镍基合金制成，并且所述应变元件(10)由不含聚合物的层系统组成。由此可以制造出具备高精度、低蠕变性和较低的湿度敏感度的精密力传感器。

主权项

一种精密力传感器，所述精密力传感器包括：弹性元件，该弹性元件构造成产生由负载决定的偏移；和至少一个应变元件，该应变元件构造成将所述偏移转换成电信号，其特征在于，所述弹性元件由具有在50％和55％之间的镍含量和在17％和21％之间的铬含量的可沉淀硬化的镍基合金制成，其中，所述应变元件由不含聚合物的层系统组成，所述精密力传感器还包括分别至少在所述弹性元件的一个末端上的至少一个端块，其中，所述端块由与所述弹性元件的合金不同的材料制成，其中，所述端块焊接到所述弹性元件，并且其中，所述弹性元件构造成平行导向的形式。