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发明名称
摘要
申请公布号
JP4836112(B2)
申请公布日期
2011.12.14
申请号
JP20040374107
申请日期
2004.12.24
申请人
发明人
分类号
H01L21/31;C23C16/44;H01L21/3065
主分类号
H01L21/31
代理机构
代理人
主权项
地址
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