固态成像装置及其制造方法以及成像设备

摘要

可以同时实现充分的空穴积聚层和暗电流的减少。固态成像装置(1)包括对入射光进行光电转换的光接收部分(12)。该固态成像装置(1)具有形成在光接收部分(12)的光接收表面(12s)上以降低界面态的膜(21)，以及形成在形成为降低界面态的膜(21)上且具有固定负电荷的膜(22)。空穴积聚层(23)形成在光接收部分(12)的光接收表面(12s)上。

主权项

一种固态成像装置，其特征在于：所述固态成像装置包括对入射光进行光电转换的光接收部分，所述固态成像装置包括：设置在所述光接收部分的光接收表面上且降低界面态的膜；以及设置在所述降低界面态的膜上且具有固定负电荷的膜，其中空穴积聚层设置在所述光接收部分的光接收表面侧，并且其中所述具有固定负电荷的膜由氧化铪、氧化锆、氧化钽、氧化钛、氧化镧、氧化镨、氧化铈、氧化钕、氧化钷、氧化钐、氧化铕、氧化钆、氧化铽、氧化镝、氧化钬、氧化铒、氧化铥、氧化镱、氧化镥、氧化钇、氮化铪、氮化铝、氮氧化铪、或氮氧化铝形成。