一种红外透明导电薄膜及其制备方法

摘要

一种红外透明导电薄膜及其制备方法，在蓝宝石试样的SiO2增透薄膜上或者蓝宝石表面覆盖一层厚度为20～30nm，周期为500～700μm，线宽为2.0～4.0μm的Au网栅薄膜，并通过涂光刻胶、前烘、曝光、显影、后烘、沉积Au薄膜和去光刻胶，形成红外透明导电薄膜。由于Au网栅薄膜的周期远大于红外光的波长，故Au网栅薄膜对红外光学性能影响不大。同时又由于Au网栅薄膜的周期远小于电磁波的波长，所以Au网栅薄膜具有良好的电磁屏蔽功能。因而，Au网栅薄膜可作为蓝宝石的红外透明导电薄膜。结合镀有的SiO2红外增透薄膜，可实现同时有效地提高蓝宝石衬底的红外透过率和电磁屏蔽效率。

主权项

一种红外透明导电薄膜，蓝宝石衬底的单面或双面镀上SiO2增透薄膜，形成蓝宝石试样；其特征在于：在蓝宝石试样的SiO2增透薄膜上或者蓝宝石表面覆盖一层Au网栅薄膜，形成了红外透明导电薄膜；Au网栅薄膜的厚度为20～30nm，Au网栅薄膜的周期为500～700μm，Au网栅薄膜的线宽为2.0～4.0μm。