| 发明名称 | ZnO蒸镀材料及由其形成的ZnO膜 | ||
| 摘要 | 本发明涉及用于成膜透明导电膜的ZnO蒸镀材料，其中包含ZnO纯度为98％以上的ZnO的粒料，粒料含有选自Y、La、Sc、Ce、Pr、Nd、Pm及Sm的1种或2种以上的稀土类元素。ZnO的粒料为多晶体或单晶体。通过以该ZnO蒸镀材料为靶材料的真空成膜法而形成的ZnO膜，能够得到良好的导电性。该真空成膜法优选为电子束蒸镀法、离子镀法或溅射法。 | ||
| 申请公布号 | CN101426948B | 申请公布日期 | 2011.12.14 |
| 申请号 | CN200780014294.1 | 申请日期 | 2007.04.19 |
| 申请人 | 三菱麻铁里亚尔株式会社 | 发明人 | 黛良享 |
| 分类号 | C23C14/24(2006.01)I;C04B35/453(2006.01)I;C04B35/653(2006.01)I;C23C14/08(2006.01)I;C23C14/34(2006.01)I;H01B5/14(2006.01)I | 主分类号 | C23C14/24(2006.01)I |
| 代理机构 | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人 | 熊玉兰;李平英 |
| 主权项 | 一种ZnO蒸镀材料，其是用于成膜透明导电膜的ZnO蒸镀材料，其特征在于，包含由ZnO纯度为98％以上的ZnO粉末制成的ZnO的粒料，所述粒料含有选自La、Sc、Ce、Pr、Nd、Pm及Sm的1种或2种以上的稀土类元素，并且所述稀土类元素的含量在ZnO蒸镀材料中为2‑20重量％，所述粒料的直径为5mm以上且50mm以下，所述ZnO蒸镀材料的相对密度为90％以上。 | ||
| 地址 | 日本东京都 | ||