X射线摄像装置

摘要

由在一个面(11)侧设置有排列有检测入射的X射线的多个检测像素的X射线检测部且另一个面(12)成为X射线入射面的背面入射型的固体摄像元件(10)以及设置于摄像元件(10)的入射面(12)上且用于波长比成为检测对象的X射线长的光的遮蔽的遮蔽层(20)构成X射线摄像装置(1)。遮蔽层(20)具有直接设置于入射面(12)上的第1铝层(21)、设置于第1铝层(21)上的第2铝层(22)、以及设置于第1、第2铝层(21、22)之间且用于紫外光的遮蔽的紫外光遮蔽层(25)。由此，实现了可以抑制X射线检测中的噪声光的检测的影响的X射线摄像装置。

主权项

一种X射线摄像装置，其特征在于，所述X射线摄像装置具备：背面入射型的固体摄像元件，在一个面侧设置有排列有检测入射的X射线的多个检测像素的X射线检测部，另一个面成为X射线入射面；以及遮蔽层，设置于所述固体摄像元件的所述X射线入射面上，且用于波长比成为检测对象的X射线长的光的遮蔽，所述遮蔽层具有：直接设置于所述X射线入射面上的第1铝层；设置于所述第1铝层上的第2铝层；以及设置于所述第1铝层以及所述第2铝层之间且用于紫外光的遮蔽的紫外光遮蔽层。