制备具有掺镓氧化锌绒面的衬底的方法以及通过该方法制备的衬底

摘要

本发明涉及光伏电池制造领域，具体涉及一种制备具有掺镓氧化锌绒面的衬底的方法、通过该方法制备的衬底以及包括该衬底的硅薄膜太阳电池。通过本发明提供的制备衬底的方法，可以获得具有掺镓氧化锌绒面的衬底，使硅薄膜太阳电池制造商摆脱绒面氧化锡玻璃供应商的限制，而进一步降低生产制造成本。可以将本发明提供的制备衬底的方法直接应用到硅薄膜太阳电池的生产制造中，并且通过该方法制备的衬底能够取代现有的昂贵的绒面氧化锡玻璃衬底，并表现出更加优异的性能。

主权项

一种制备具有掺镓氧化锌绒面的衬底的方法，该方法包括以下步骤：1)在衬底上通过磁控溅射法溅射掺镓氧化锌而制得掺镓氧化锌膜，其中磁控溅射法中使用的溅射靶材为三氧化二镓浓度为0.5～6wt％的掺镓氧化锌，氩气压强为1～10mtorr，溅射功率为100～500W，并且衬底温度为15～350℃；和2)将上述制得的掺镓氧化锌膜在酸性刻蚀液中浸泡40～300s而制得具有掺镓氧化锌绒面的衬底，其中，所述酸性刻蚀液为盐酸和草酸的混酸刻蚀液，其酸浓度为0.1～15wt％，并且酸性刻蚀液的温度为15～50℃。