| 摘要 |
<p>본 발명은 대기압 플라즈마 발생장치에 관한 것으로서, 특히 대기압 하에서 안정된 저온 글로우 방전 플라즈마를 제공하고, 원기둥 형상의 RF전극을 이용하여 대기압하에서 플라즈마 발생을 위한 소비전력을 줄일 수 있는 대기압 플라즈마 발생장치에 관한 것이다. 본 발명의 대기압 플라즈마 발생 장치는, 하우징과; 상기 하우징의 하부에 결합되고, 하방향으로 플라즈마 배출구가 형성된 접지전극부와; 상기 하우징과 접지전극부 사이에 결합된 절연부재와; 상기 절연부재 하부에 결합되고 상기 접지전극부와 이격되게 배치되어 상기 접지전극부와의 사이에 방전공간을 형성하는 RF전극과; 상기 RF전극에 전원을 공급하는 전원공급부로 이루어지되, 상기 RF전극은 원기둥형상으로 이루어져 상기 배출구의 상부에 배치되고, 상기 RF전극과 인접하게 대향되어 상기 방전공간을 형성하는 상기 접지전극부의 방전면은 직선평면으로 형성되며, 상기 방전공간의 상부를 통해 공급된 가스는 상기 원호형상의 상기 RF전극과 직선형상의 상기 방전면 사이에 형성된 상기 방전공간에서 방전되어 상기 배출구를 통해 플라즈마로 분사되는 것을 특징으로 한다.</p> |
