| 摘要 |
<p>제조 라인을 개조하지 않고, 또한 공수도 크게 증가시키지 않고, 높은 정밀도 및 양호한 시인성을 갖는 얼라인먼트 마크를 간단히 형성하고, 또한 저코스트로 생산성 좋게 플랫 패널 디스플레이를 제조한다. 그를 위해서 기판 상에 감광성막을 형성하는 공정과, 노광 마스크(41)를 이용하여 감광성막을 노광하여 얼라인먼트 마크(51)를 형성하는 공정과, 감광성막을 현상하기 전의 상태에서 얼라인먼트 마크(51)를 인식하여, 위치 정렬을 행하는 공정을 갖는다.</p> |
