主权项 |
一种铜导线结构,应用在一薄膜电晶体液晶显示(TFT-LCD)元件中,该铜导线结构至少包括:一图案化缓冲层(Patterned Buffer Layer),形成于一玻璃基板上,该图案化缓冲层之厚度系实质上小于300nm;一图案化铜导线层(Patterned Copper Layer),形成于该图案化缓冲层上且对应于该图案化缓冲层,其中该图案化铜导线层之材料实质上由铜或铜合金所组成;及一图案化铜合金层(Patterned Copper Alloy Layer),形成于该图案化缓冲层及该图案化铜导线层之间,且对应于该图案化缓冲层;其中,该图案化缓冲层之材料包含氮化铜。 |