发明名称 铜导线结构及其制造方法
摘要
申请公布号 TWI354350 申请公布日期 2011.12.11
申请号 TW094117136 申请日期 2005.05.25
申请人 友達光電股份有限公司 新竹市新竹科學工業園區力行二路1號 发明人 甘丰源;林汉涂;杜国源
分类号 H01L21/768 主分类号 H01L21/768
代理机构 代理人 祁明辉 台北市信义区忠孝东路5段510号22楼之2;林素华 台北市信义区忠孝东路5段510号22楼之2
主权项 一种铜导线结构,应用在一薄膜电晶体液晶显示(TFT-LCD)元件中,该铜导线结构至少包括:一图案化缓冲层(Patterned Buffer Layer),形成于一玻璃基板上,该图案化缓冲层之厚度系实质上小于300nm;一图案化铜导线层(Patterned Copper Layer),形成于该图案化缓冲层上且对应于该图案化缓冲层,其中该图案化铜导线层之材料实质上由铜或铜合金所组成;及一图案化铜合金层(Patterned Copper Alloy Layer),形成于该图案化缓冲层及该图案化铜导线层之间,且对应于该图案化缓冲层;其中,该图案化缓冲层之材料包含氮化铜。
地址 新竹市新竹科学工业园区力行二路1号
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