发明名称 观察设备及用以观察在底层填充树脂内的空洞之方法
摘要
申请公布号 TWI354343 申请公布日期 2011.12.11
申请号 TW096139477 申请日期 2007.10.22
申请人 富士通股份有限公司 日本 发明人 佐藤雅彦;伊仓和之;西野彻
分类号 H01L21/66;H01L21/56 主分类号 H01L21/66
代理机构 代理人 恽轶群 台北市松山区南京东路3段248号7楼;陈文郎 台北市松山区南京东路3段248号7楼
主权项 一种观察设备,其用以观察在一底层填充树脂内所产生的空洞,该观察设备包括:一安装单元,其组构以使该底层填充树脂位在要被安装的一本体及一基板之间的覆晶安装技术中将要被安装的该本体安装于该基板上,该安装单元包含一组构以固持要被安装的该本体之头与一组构以将该基板组装于其上之阶台;及一观察单元,其组构以于藉由该安装单元将要被安装的该本体安装于该基板上的期间,藉由观察该底层填充树脂的状态来观察产生在该底层填充树脂内的该空洞,该观察单元包含一组构以拍摄该底层填充树脂的状态之影像的影像拍摄单元,该影像拍摄单元是设置在相对于一开口的位置处,该开口是形成在用以拍摄要被安装的该本体之影像之该头的位置处,或是在用以拍摄该基板的影像之该阶台的位置处。
地址 日本