周边曝光装置及其方法（一）

主权项

一种周边曝光装置，以包含紫外光的光照射基板的周边区域而曝光，其包括：一紫外光照射单元，设于上述基板上方的位置，从形成框体的矩形的照射口经由照射用透镜将包含紫外光的光照射至上述基板的周边区域；一照度量测部，设于上述紫外光照射单元，而量测紫外光的照度；以及一照度量测部移动机构，使照度量测部移动至面向上述紫外光照射单元的照射口的面对位置以及从上述照射口退出的退避位置。