| 摘要 |
1. Катодно-распылительный узел магнетрона, содержащий корпус в форме пенала с основанием, плоскую мишень протяженной формы с распыляемым материалом, закрепленную напротив основания корпуса, магнитную систему и охладитель в форме соосных торов, размещенных между основанием корпуса и плоской мишенью по центру корпуса, в котором центральная область плоской мишени выполнена перфорированной в виде системы отверстий, расположенных вдоль ее протяженной стороны, при этом в корпусе по его центру дополнительно установлен газораспределитель, а основание корпуса снабжено патрубком для ввода рабочих газов. ! 2. Устройство по п.1, отличающееся тем, что система отверстий плоской мишени образована, по крайней мере, одним рядом отверстий в форме либо щелей, либо цилиндрических и конических отверстий, равномерно расположенных относительно друг друга с заданным шагом. ! 3. Катодно-распылительный узел магнетрона, содержащий корпус в форме пенала с основанием, плоскую мишень протяженной формы с распыляемым материалом, закрепленную напротив основания корпуса, магнитную систему и охладитель в форме соосных торов, размещенных между основанием корпуса и плоской мишенью по центру корпуса, в котором магнитная система выполнена в виде матрицы из постоянных пластинчатых магнитов, каждый из которых имеет форму прямоугольной пластины с предварительно заданным соотношением толщины, длины и ширины, и установленных по образующей тора, по крайней мере, в два ряда и смещенных относительно друг друга в каждом ряду, при этом в пределах одного ряда пластины имеют одинаковое значение величины намагниченности. ! 4. Узел по п.3, отличающийся те� |
