| 摘要 |
1. Лазерное формообразование механических микроструктур на поверхности подложки путем осаждения вещества из газовой фазы с использованием локального нагревания области осаждения лазерным излучением, отличающееся тем, что вещество в газовой фазе диспергировано в виде аэрозоля. ! 2. Способ по п.1, отличающийся тем, что материал упомянутых частиц поглощает лазерное излучение. ! 3. Способ по п.2, отличающийся тем, что лазерное излучение импульсное, причем длительность импульса не менее той, при которой длина тепловой волны в частице более ее поперечника. ! 4. Способ по п.3, отличающийся тем, что упомянутые частицы электрически заряжены, причем упомянутая подложка электрически соединена с полюсом источника электрического напряжения. ! 5. Способ по п.4, отличающийся тем, что электрическое напряжение упомянутого источника знакопеременное, причем изменение полярности напряжения синхронизовано с периодичностью генерации импульса лазерного излучения. ! 6. Способ по п.2, отличающийся тем, что упомянутые частицы пара-, суперпара- или ферромагнитные, причем упомянутая подложка помещена в области магнитного поля, силовые линии которого пересекают ее упомянутую поверхность. |
