| 摘要 |
1. Шагающий робот-нанопозиционер, включающий перемещаемую платформу, три опоры и несущую поверхность, отличающийся тем, что конструктивные элементы позиционера изготовлены из материалов с малыми коэффициентами теплового расширения, число опор увеличено, опоры снабжены собственными X, Y, Z-движителями; на свободном конце каждой опоры имеется миниатюрный выступ определенной формы (пирамиды, тетраэдра, конуса, полусферы, параболоида вращения и т.п.) и размеров, изготовленный из твердого материала, через который осуществляется контакт с несущей поверхностью; в опоры встроены системы, измеряющие рельеф несущей поверхности в месте предполагаемой установки опоры; имеется компьютер, распознающий и анализирующий измеренный рельеф несущей поверхности и вырабатывающий соответствующие команды управления X, Y, Z-движителям опор. ! 2. Позиционер по п.1, отличающийся тем, что несущая поверхность содержит изготовленные заранее ямки, соответствующие по форме и размерам выступу опоры, либо ямки, глубина которых такова, что установленный в такую ямку кончик выступа опоры не касается дна ямки. ! 3. Позиционер по п.1, отличающийся тем, что выступ опоры и несущая поверхность изготовлены из проводящего электрический ток материала либо имеют проводящее электрический ток покрытие. ! 4. Позиционер по п.1, отличающийся тем, что в опору встроена упругая микроконсоль с зондом, которая может быть снабжена средствами, обеспечивающими ее управляемый изгиб. ! 5. Позиционер по п.1, отличающийся тем, что в опору встроен датчик нагрузки на опору. ! 6. Позиционер по п.1, отличающийся тем, что движитель состоит из двух одинаковых движителей, включенных вс |
