POROUS MATERIALS AND METHOD AND SYSTEM FOR CHARACTERIZING POROUS MATERIALS
摘要
<p>본 발명은 다공성(porous) 물질 상의 처리의 유효성을 진단하는 방법 및 시스템을 제공한다. 예를 들면, 다공성 물질은 다공성 저 유전 상수의 재료를 포함할 수 있다. 특히, 본 방법은 FTIR 분광학을 이용하여 물질의 다공률을 특성화하고, 물질 내의 세공(pore)의 밀봉 유효성을 평가할 수 있다.</p>
