| 摘要 |
<p>본 발명은 진공펌프 열을 이용한 질소가스 분사장치에 관한 것으로, 진공펌프에서 발산되어 소모되는 열을 적극 활용함으로써 질소가스를 가열하기 위한 별도의 열원 없이도 고온의 질소가스를 공급하여 반응부산물 가스의 고형화를 방지할 수 있도록 한 것이다. 이를 위한 본 발명은, 외부에서 공급되는 질소가스를 내부 유로를 통해 경유시키고, 진공펌프에서 발산되는 열을 흡입하고, 상기 흡입된 열에 의해 외부에서 공급되는 질소가스를 내부로 경유시키면서 가열하는 열교환기와, 열교환기에서 가열된 질소가스를 반응부산물 가스가 이송되는 배관으로 공급하는 분사유닛을 포함하여 이루어진다.</p> |
