发明名称 DISPOSITIVO Y PROCEDIMIENTO PARA RECUBRIR UNA SUPERFICIE.
摘要 Dispositivo para recubrir una superficie de un artículo con las siguientes características: una unidad (2) para proporcionar un líquido que presenta reactivos necesarios para el recubrimiento; una unidad (3) de transporte, que está configurada para provocar un movimiento relativo entre una superficie que debe recubrirse del artículo (4) y el líquido, mientras la superficie que debe recubrirse del artículo está en contacto con el líquido, de modo que la superficie que debe recubrirse permanece en contacto con el líquido durante un tiempo predeterminado, para provocar un recubrimiento de la misma, estando además configurada la unidad (3) de transporte para provocar el movimiento relativo tangencialmente a la superficie que debe recubrirse, de manera continua y sin invertir el sentido (5) de movimiento; una unidad (30; 80) de calentamiento, que está configurada para calentar la superficie que debe recubrirse, mientras la superficie que debe recubrirse del artículo está en contacto con el líquido, hasta una temperatura a la que tiene lugar una reacción de los reactivos mediante los que se provoca el recubrimiento; estando configurada la unidad (30; 80) de calentamiento para calentar un cilindro (3) de transporte rotatorio de la unidad de transporte, que está dispuesto en el lado del artículo (4) opuesto al líquido, para provocar el movimiento relativo; y estando diseñado el dispositivo para recubrir por un lado un artículo (4) en forma de banda.
申请公布号 ES2369972(T3) 申请公布日期 2011.12.09
申请号 ES20080848572T 申请日期 2008.11.06
申请人 STANGL SEMICONDUCTOR EQUIPMENT AG 发明人 ECKSTEIN, JENS
分类号 B05C3/18;B05C3/00;B05C3/05;B05C3/20;B05C9/14;H01L21/00 主分类号 B05C3/18
代理机构 代理人
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