WAFER HOLDER

摘要

웨이퍼 홀더는 웨이퍼 스테이지와 상기 웨이퍼 스테이지를 둘러싼 웨이퍼 스테이지 외부링을 포함하고, 여기서 상기 웨이퍼 스테이지는 상기 웨이퍼 스테이지에 재치된 직경보다 작은 직경을 가지고, 상기 웨이퍼 스테이지 외부링은 상기 웨이퍼 스테이지에 재치된 웨이퍼의 직경보다 큰 상기 외부링의 상부면에 내부 직경을 가지며, 상기 외부링의 상부 표면은 상기 웨이퍼 스테이지에 재치된 웨이퍼의 상부 표면 위에 놓이는 것을 특징으로 한다.