SHOCK-PROTECTED MEMS COMPONENT, DEVICE COMPRISING THE SAME AND METHOD FOR SHOCK-PROTECTING AN MEMS COMPONENT

摘要

Ein MEMS Bauteil (10, 20) weist einen Schock-Schutz auf, wobei das MEMS Bauteil (10, 20) eine bewegliche Komponente (11, 21), eine Antriebseinrichtung (22) zur Positionierung der beweglichen Komponente (11, 21) und einen Beschleunigungssensor (25) aufweist. Bei einer Detektion einer Beschleunigung gleich oder größer einem vorgegebenen Grenzwert wird die bewegliche Komponente (11, 21) in einer Parkposition gehalten.