发明名称 BOAT FOR TRANSFERRING
摘要 <p>개시된 이송용 보트는 대상물을 후공정으로 이송하는 플레이트 및 상기 플레이트에 결합된 탄성체를 포함할 수 있다. 상기 플레이트에는 상면에 대상물이 안착되도록 안착홈이 형성되고, 상기 안착홈 일측에 복수의 삽입홈이 형성될 수 있다. 상기 탄성체는 상기 삽입홈에 삽입되어 상기 대상물에 대해 탄성력을 가하여 상기 안착홈의 벽면에 상기 대상물을 밀착시킬 수 있다. 이에 의하면, 플레이트의 안착홈에 안착되는 대상물의 크기에 상관없이 탄성체에 의하여 상기 대상물을 안착홈의 벽면에 밀착시킬 수 있으므로, 상기 대상물의 동일한 위치에 대해 후공정이 진행될 수 있어 대상물의 불량화를 줄일 수 있다.</p>
申请公布号 KR101090933(B1) 申请公布日期 2011.12.08
申请号 KR20080086549 申请日期 2008.09.03
申请人 发明人
分类号 H01L21/673;H01L21/677 主分类号 H01L21/673
代理机构 代理人
主权项
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