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Bei einem mikromechanischen System mit einem Substrat und einer über dem Substrat angeordneten Elektrode ist die Elektrode über eine vertikale Feder mit dem Substrat verbunden. Die vertikale Feder ist abschnittsweise in einer ersten leitfähigen Schicht und abschnittsweise in einer zweiten, leitfähigen Schicht ausgebildet, wobei die zweite leitfähige Schicht über der ersten leitfähigen Schicht und die erste leitfähige Schicht über dem Substrat angeordnet ist. Die Elektrode ist in einer dritten leitfähigen Schicht ausgebildet, die über der zweiten leitfähigen Schicht angeordnet ist.
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