发明名称 METHOD FOR PRODUCING A COATED ITEM BY MEANS OF TEXTURE ETCHING
摘要 <p>Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Herstellung eines beschichteten Gegenstands (2) durch Abscheidung mindestens einer transparenten leitfähigen Metalloxidschicht (3) auf einem Substrat (5), umfassend die Abscheidung (I) und bevorzugt anschließende Temperaturbehandlung (II) der Beschichtung (3). Nach der optionalen Temperaturbehandlung (II) wird die Oberflächentextur (8) der Beschichtung (3) durch ein Ätzverfahren statistisch eingestellt.</p>
申请公布号 WO2011092017(A8) 申请公布日期 2011.12.08
申请号 WO2011EP00371 申请日期 2011.01.27
申请人 INTERPANE ENTWICKLUNGS- UND BERATUNGSGESELLSCHAFTMBH;KAPPERTZ, OLIVER;HERLITZE, LOTHAR;WEIS, HANSJOERG;PURWINS, MICHAEL 发明人 KAPPERTZ, OLIVER;HERLITZE, LOTHAR;WEIS, HANSJOERG;PURWINS, MICHAEL
分类号 H01L31/0236;H01L31/18 主分类号 H01L31/0236
代理机构 代理人
主权项
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