发明名称 TEMPERATURE CONTROL APPARATUS, PROCESSING APPARATUS, AND TEMPERATURE CONTROL METHOD
摘要 <p>그의 저항값이 온도에 좌우되어 변하는 특성을 가지는 저항가열기와, 온 전압과 오프 전압의 두 전압수준을 가지는 제어 신호를 출력하는 신호 발생기와, 상기 제어 신호의 전압수준이 제1 전압일 때 제1 전류가 저항가열기를 흐르게 하고, 상기 제어 신호의 전압수준이 제2 전압일 때 제1 전류의 것보다 작은 전류값을 가지는 제2 전류가 저항가열기를 흐르게 하는 스위칭부와, 상기 제2 전류가 저항가열기를 흐를 때 상기 저항가열기를 가로지르는 전압값을 측정하기 위한 전압측정기를 구비하는 온도 제어 장치가 개시되며, 상기 신호 발생기는 상기 전압측정기에 의해 측정된 전압값에 기반하여 저항가열기의 온도를 제어한다.</p>
申请公布号 KR101090551(B1) 申请公布日期 2011.12.08
申请号 KR20097017309 申请日期 2008.03.12
申请人 发明人
分类号 G05D23/00;G05D23/24 主分类号 G05D23/00
代理机构 代理人
主权项
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