| 摘要 |
<p>본 발명은 압흔 검사장치에 관한 것으로, 구체적으로는 레이저변위센서 발광부 및 수광부의 위치를 변경하고, 검사대상물의 검사면을 측정함으로써 보다 고품질의 압흔 이미지를 얻을 수 있도록 하는 압흔 검사장치에 관한 것이다. 본 발명은 검사대상물과 TCP 또는 COG가 안치되며 제어부(PLC 또는 PC)에 의해 제어되는 이송모터에 의해 이동하는 검사대, 상기 검사대의 상부 또는 하부에 구비되며, 경통의 일단에 현미경대물렌즈가 결합되고, 타단에는 검사 카메라가 결합되고, 그 측면에 DIC필터부, 조명부가 결합되는 편광필터부 및 애널라이저가 결합되고, 반대측면에 초점 조절 지지대로 구성되는 압흔 이미지 생성부, 상기 초점 조절 지지대를 상, 하로 이동시키는 초점조절모터와, 상기 초점조절모터를 제어하는 모터제어부, 상기 대물현미경렌즈의 양 측부에 구비되며, 상기 검사대상물의 검사면 높이를 측정하기 위하여 상기 검사대상물을 향하는 레이저변위센서 발광부와, 상기 레이저변위센서 발광부에서 발광되는 레이저가 상기 검사대상물의 검사면에 반사된 것을 수용하는 레이저변위센서 수광부 및 상기 제어부, 모터제어부를 제어하며, 상기 검사대상물의 검사면이 압흔 이미지 생성부로부터 생성된 디지털 압흔 이미지에 대한 검사 알고리즘을 수행하는 메인 컨트롤러를 포함한다. 본 발명의 압흔 검사장치에 의하면, 레이저변위센서 발광부 및 수광부의 위치를 검사 카메라에 적합하게 하고 검사위치와 레이저변위센서 측정위치를 일치하게 하여 검사면의 높이를 정밀하게 측정할 수 있고, 검사대상물의 두께 변화에 상관없이 고품질의 압흔 이미지를 얻을 수 있어 작업의 효율성을 높일 수 있으며, 이에 따라 불량자재가 다음 공정으로 전달되는 것을 막을 수 있어 공정상 손해 또한 줄일 수 있는 큰 효과가 있는 것이다.</p> |
