承载架

摘要

本实用新型公开一种承载架，其适用于在晶圆涂布工艺时承载一晶圆，承载架整体是由一耐高温材质制成，且承载架包括一第一侧板、一第二侧板。第二侧板连结于第一侧板，使得复数个通道形成于第一侧板及第二侧板间。本实用新型的承载架，可在高温环境下不产生变形、熔化等现象，提升整体工艺的成功率，也同时减少了压克力承载架的损耗率，进而降低生产成本。

主权项

承载架，适用于在晶圆涂布工艺时承载一晶圆，其特征在于该承载架整体是由一耐高温材质制成，且该承载架包括：一第一侧板；一第二侧板，连结于该第一侧板；以及数个通道，形成于该第一侧板及该第二侧板间。