发明名称 |
等离子体处理装置 |
摘要 |
该等离子体处理装置包括:处理室(101),由具有侧壁(34)的腔室(2)、电极法兰(4)、和被所述腔室(2)与所述电极法兰(4)夹着的绝缘法兰(81)形成,并具有反应室(2a);支撑部(15),收容于所述反应室(2a)内,载置有具有处理面(10a)的基板(10);搬出搬入部(36),设置于所述腔室(2)的所述侧壁(34);RF电源(9),与所述电极法兰(4)连接,并施加高频电压;第一阀门(55),设置于所述搬出搬入部(36),并开闭所述搬出搬入部(36);以及第二阀门(56),与所述腔室(2)电连接,并具有与所述腔室(2)的内侧面(33)位于同一平面上的面部(56a)。 |
申请公布号 |
CN102272895A |
申请公布日期 |
2011.12.07 |
申请号 |
CN201080004120.9 |
申请日期 |
2010.01.07 |
申请人 |
株式会社爱发科 |
发明人 |
若松贞次;龟崎厚治;菊池正志;神保洋介;江藤谦次;浅利伸;内田宽人 |
分类号 |
H01L21/205(2006.01)I;H01L31/04(2006.01)I |
主分类号 |
H01L21/205(2006.01)I |
代理机构 |
北京德琦知识产权代理有限公司 11018 |
代理人 |
杨晶;王琦 |
主权项 |
一种等离子体处理装置,其特征在于,包括:处理室,由具有侧壁的腔室、电极法兰、和被所述腔室与所述电极法兰夹着的绝缘法兰形成,并具有反应室;支撑部,收容于所述反应室内,载置有具有处理面的基板,并控制所述基板的温度;搬出搬入部,设置于所述腔室的所述侧壁,用于把所述基板搬出或者搬入所述反应室;RF电源,与所述电极法兰连接,并施加高频电压;第一阀门,设置于所述搬出搬入部,并开闭所述搬出搬入部;以及第二阀门,与所述腔室电连接,并具有与所述腔室的内侧面位于同一平面上的面部。 |
地址 |
日本神奈川县 |