发明名称 | 测温装置及测温系统 | ||
摘要 | 本发明实施例公开了一种测温装置及测温系统,涉及温度测量技术,能够准确地测量载板的温度。本发明实施例中的测温装置,包括热电偶、以及带动所述热电偶移动的动力装置;其中,所述热电偶通过连接杆固定到所述动力装置上;所述连接杆的一端设有所述热电偶,其另一端固定到所述动力装置上;在进行温度测量时,所述动力装置通过所述连接杆带动所述热电偶移动,使所述热电偶与待测物体接触以进行温度测量。本发明实施例还提供了一种使用上述测温装置的测温系统。本发明实施例提供的方案适用于对密闭腔室内的待测物体进行温度测量。 | ||
申请公布号 | CN102269629A | 申请公布日期 | 2011.12.07 |
申请号 | CN201010199367.2 | 申请日期 | 2010.06.07 |
申请人 | 北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司 | 发明人 | 蒲春 |
分类号 | G01K7/04(2006.01)I | 主分类号 | G01K7/04(2006.01)I |
代理机构 | 北京中博世达专利商标代理有限公司 11274 | 代理人 | 申健 |
主权项 | 一种测温装置,其特征在于,包括热电偶、以及带动所述热电偶移动的动力装置;其中,所述热电偶通过连接杆固定到所述动力装置上;所述连接杆的一端设有所述热电偶,其另一端固定到所述动力装置上;在进行温度测量时,所述动力装置通过所述连接杆带动所述热电偶移动,使所述热电偶与待测物体接触以进行温度测量。 | ||
地址 | 100026 北京市朝阳区酒仙桥东路1号M5楼 |