一种准分子激光器腔体光路的准直调谐方法

摘要

本发明提供了一种调谐准分子激光器腔体光路准直的方法，属于准分子激光器设备技术领域。该方法采用一带有光源和图形的调光靶，将调光靶置于准分子激光器的前反射镜一端，分别调整准分子激光器腔体前、后两个反射镜位置，使所述调光靶的图形在腔体前、后两个反射镜的成像相互重合及其衍射像对称，从而实现准分子激光器腔体光路准直。本发明操作简单，不需要占用准分子激光器空间，且调谐后的激光器腔体光路可达到最高能量值，不必再用能量标准进行调整。

主权项

一种准分子激光器腔体光路的准直调谐方法，其特征在于，采用一带有光源和十字图形的调光靶，该调光靶为一封闭盒子，光源设置在盒子内部，盒子的一侧面板上设有一出光孔，与其相对的另一侧面板上设有一通透孔，所述带有通透孔面板的内侧表面设有十字图形，该十字图形的交点为通透孔的圆心位置，将调光靶置于准分子激光器的前反射镜一端，调试者通过调光靶的通透孔可观察到出光孔和调光靶十字图形在激光器前、后两个反射镜的成像，其中，出光孔和调光靶十字图形在激光器前反射镜的成像为大圆圈和大十字，出光孔和调光靶十字图形在激光器后反射镜的成像为小圆圈和小十字，分别调整准分子激光器腔体前、后两个反射镜位置实现准直调谐，具体步骤为：1)调整调光靶位置，使调光靶十字图形在前反射镜的十字成像的交点与调光靶出光孔在前反射镜的圆圈成像的中心点重合；2)固定调光靶；3)旋转激光器前反射镜或后反射镜的水平或垂直方向旋钮，使前反射镜和后反射镜的十字成像重合及其衍射像对称。