| 发明名称 | 工艺废气处理装置及工艺废气处理方法 | ||
| 摘要 | 一种工艺废气处理装置包括腔体与漏斗顶盖环。漏斗设置于腔体下方，具有至少一注入孔，设置于接近腔体之处。 | ||
| 申请公布号 | CN102266710A | 申请公布日期 | 2011.12.07 |
| 申请号 | CN201010198762.9 | 申请日期 | 2010.06.07 |
| 申请人 | 旺宏电子股份有限公司 | 发明人 | 谢正益 |
| 分类号 | B01D53/34(2006.01)I | 主分类号 | B01D53/34(2006.01)I |
| 代理机构 | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人 | 宋焰琴 |
| 主权项 | 一种工艺废气处理装置，包括：一腔体；以及一漏斗，该漏斗设置于该腔体下方，具有至少一注入孔，设置于接近该腔体之处。 | ||
| 地址 | 中国台湾新竹科学工业园区力行路16号 | ||