发明名称 组合物、干膜、固化物和印刷线路板
摘要 本发明提供组合物、干膜、固化物和印刷线路板。本发明提供可实现兼顾表面固化性和固化深度的组合物、特别是抗蚀剂组合物。一种组合物,其特征在于,曝光前干燥涂膜厚25μm时,激光波长400nm的吸光度L400为0.5-1.2,并且,激光波长410nm的吸光度L410为0.01-0.5,并且,L400>L410。
申请公布号 CN101403856B 申请公布日期 2011.12.07
申请号 CN200810149388.6 申请日期 2008.09.25
申请人 太阳控股株式会社 发明人 柴崎阳子;有马圣夫
分类号 G03F7/004(2006.01)I;C08F290/06(2006.01)I;C08F2/50(2006.01)I;H05K1/00(2006.01)I 主分类号 G03F7/004(2006.01)I
代理机构 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 代理人 刘新宇;李茂家
主权项 1.一种组合物,其特征在于,其为干燥涂膜形成后通过将多个激光二极管捆绑来制成曝光光源的激光振荡波长具有400~410nm的分布的激光振荡光源进行激光曝光的、含有(A)含羧酸树脂、(B)光聚合引发剂以及(C)着色剂的组合物,其中,将波长400nm的吸光度设为L400、将波长410nm的吸光度设为L410时,曝光前干燥涂膜厚25μm时,吸光度L400为0.5-1.2、吸光度L410为0.01-0.5,并且,吸光度L400>吸光度L410,前述(B)光聚合引发剂为选自下述通式(I)所示的肟酯系光聚合引发剂、下述通式(II)所示的氨基苯乙酮系光聚合引发剂、下述通式(III)所示的酰基氧化膦系光聚合引发剂以及下述通式(IV)所示的茂钛系光聚合引发剂所组成的组中的1种以上光聚合引发剂,并且前述(B)光聚合引发剂的配合量相对于100质量份前述(A)含羧酸树脂为0.01~30质量份,前述(C)着色剂的配合量相对于100质量份前述含羧酸树脂为0.01~5质量份,[化学式1]<img file="FSB00000605640300011.GIF" wi="1149" he="827" />式中,R<sup>1</sup>表示氢原子、碳原子数1~7的烷基或苯基,R<sup>2</sup>表示碳原子数1~7的烷基或苯基;R<sup>3</sup>、R<sup>4</sup>表示碳原子数1~12的烷基或芳基烷基,R<sup>5</sup>、R<sup>6</sup>表示氢原子、碳原子数1~6的烷基或两者结合而成的环状烷基;R<sup>7</sup>、R<sup>8</sup>表示碳原子数1~6的直链状或支链状的烷基、烷氧基、环己基、环戊基、芳基、或被卤原子、烷基或烷氧基取代的芳基、或任一个为碳原子数1~20的羰基;R<sup>9</sup>、R<sup>10</sup>表示卤原子、芳基、卤化芳基、含有杂环的卤化芳基。
地址 日本东京都