用于丝网印刷的精确传输系统

摘要

本发明提出用于处理丝网印刷腔室(102)的基板(150)的设备和方法，藉以传送一或多个处理基板上的可重复与精确丝网印刷图案。在一实施例中，丝网印刷腔室用来进行部分结晶硅太阳能电池生产线的丝网印刷工艺，其中基板以预定材料图案化。在一实施例中，丝网印刷腔室为处理腔室，设在旋转线工具或取自Baccini S.p.A.的SoftlineTM工具内，其为美国加州圣克拉拉的应用材料公司所拥有。

主权项

一种用于处理基板的设备，其包含：材料输送装置构件，包含：平台，具有基板支撑面；第一材料定位机构，用以提供支撑材料至该基板支撑面，该支撑材料具有第一表面，其上形成数个特征结构；以及第二材料定位机构，用以接收从该第一材料定位机构传送越过至少一部分的该基板支撑面的该支撑材料；一或多个传感器构件，置于该第一表面之上，其中该或该些传感器构件设置经定位而感应出该第一表面上的该些特征结构的一位置变化；以及控制器，用以接收出自该或该些传感器构件的讯号，且利用耦接该第一材料定位机构或该第二材料定位机构的致动器控制该基板支撑面上的该支撑材料的位置。