通过降低噪声的差分通道的用于大型传感器阵列的电压读取技术

摘要

一种有源传感器装置包括排列成多列传感器元件和多行传感器元件的传感器元件阵列。该传感器装置包括多列薄膜晶体管开关和多行薄膜晶体管开关，用于选择性启动传感器元件；以及多列薄膜二极管和多行薄膜二极管，用于选择性寻址传感器元件，以从这些传感器元件获得信息。所述薄膜晶体管开关和薄膜二极管形成在一公共衬底上。

主权项

一种有源传感器装置，包括：传感器元件阵列，该阵列包括多列传感器元件和多行传感器元件；多列薄膜晶体管开关和多行薄膜晶体管开关，用于选择性启动所述传感器元件；以及多列薄膜二极管和多行薄膜二极管，用于选择性寻址所述传感器元件以从传感器元件获得信息，其中所述薄膜晶体管开关和薄膜二极管形成在一公共衬底上。