发明名称 |
垂直沟道晶体管以及包括垂直沟道晶体管的存储器件 |
摘要 |
本发明提供了一种半导体器件,其包括:NMOS垂直沟道晶体管,位于衬底上,并包括围绕垂直p沟道区的p+多晶硅栅电极;和PMOS垂直沟道晶体管,位于衬底上,并包括围绕垂直n沟道区的n+多晶硅栅电极。该NMOS和PMOS垂直沟道晶体管任选地在CMOS操作模式下可工作。 |
申请公布号 |
CN101150132B |
申请公布日期 |
2011.12.07 |
申请号 |
CN200710087961.0 |
申请日期 |
2007.02.23 |
申请人 |
三星电子株式会社 |
发明人 |
金真怜;宋基焕 |
分类号 |
H01L27/092(2006.01)I;H01L27/105(2006.01)I;H01L29/78(2006.01)I |
主分类号 |
H01L27/092(2006.01)I |
代理机构 |
北京市柳沈律师事务所 11105 |
代理人 |
陶凤波 |
主权项 |
一种半导体存储器件,包括:衬底,其包括存储核心区域和外围电路区域;和第一NMOS垂直沟道晶体管,第二NMOS垂直沟道晶体管,和PMOS垂直沟道晶体管,他们位于该衬底的该存储核心区域中;其中,该第一NMOS垂直沟道晶体管包括围绕垂直p沟道区的p+多晶硅栅电极,该第二NMOS垂直沟道晶体管包括围绕垂直p沟道区的n+多晶硅栅电极,以及该PMOS垂直沟道晶体管包括围绕垂直n沟道区的n+多晶硅栅电极,其中该第一NMOS垂直沟道晶体管的阈值电压为正,且该第二NMOS垂直沟道晶体管和该PMOS垂直沟道晶体管的阈值电压为负,以及其中该第一NMOS垂直沟道晶体管和该PMOS垂直沟道晶体管在CMOS操作模式下操作。 |
地址 |
韩国京畿道 |