单边栅极鳍状场效晶体管及其制造方法

摘要

本发明公开了一种单边栅极鳍状场效晶体管，包含一有源鳍状结构、一漏极掺杂区与一源极掺杂区、一绝缘区域、一沟渠绝缘结构以及一单边侧壁栅极。有源鳍状结构包含两相邻的增大头部、一超薄基部，以及衔接各增大头部与超薄基部的一渐缩颈部。漏极掺杂区与源极掺杂区分别位于两相邻的增大头部。绝缘区域位于增大头部间。沟渠绝缘结构位于音叉形鳍状结构的一侧。单边侧壁栅极位于沟渠绝缘结构相反侧的有源鳍状结构的侧壁上。

主权项

一种单边栅极鳍状场效晶体管，其特征在于，包含：一有源鳍状结构，包含两相邻的增大头部、一超薄基部，以及衔接各所述增大头部与所述超薄基部的一渐缩颈部；一漏极掺杂区与一源极掺杂区，分别位于所述两相邻的增大头部；一绝缘区域，位于所述增大头部间；一沟渠绝缘结构，位于所述有源鳍状结构的一侧；以及一单边侧壁栅极，位于所述沟渠绝缘结构相反侧的所述有源鳍状结构的侧壁上。