| 发明名称 | 自动聚焦系统和自动聚焦方法 | ||
| 摘要 | 本发明涉及一种自动聚焦系统和自动聚焦方法。该自动聚焦系统包括：聚光单元；和可移动的至少一个平面反射镜，其特征在于，来自聚光单元的会聚光束被所述至少一个平面反射镜反射后入射到样品上。该自动聚焦系统不产生色差、易于调整、且结构简单。使用本发明的自动聚焦系统不仅可以通过简单的操作进行自动聚焦，而且可以控制探测光束的偏振变化，即，可以保持任意偏振光的偏振特性。 | ||
| 申请公布号 | CN102269858A | 申请公布日期 | 2011.12.07 |
| 申请号 | CN201010209754.X | 申请日期 | 2010.06.25 |
| 申请人 | 北京智朗芯光科技有限公司 | 发明人 | 李国光;严晓浪;马铁中;艾迪格·基尼欧;刘涛 |
| 分类号 | G02B7/182(2006.01)I;G02B27/28(2006.01)I;G01B11/06(2006.01)I;G01N21/21(2006.01)I;G01N21/25(2006.01)I | 主分类号 | G02B7/182(2006.01)I |
| 代理机构 | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038 | 代理人 | 秦晨 |
| 主权项 | 一种自动聚焦系统，其特征在于，该自动聚焦系统包括用于将会聚光束反射后聚焦到样品上的可移动的至少一个平面反射镜。 | ||
| 地址 | 100191 北京市海淀区知春路27号四层402室 | ||