用于高功率CO₂盘形激光镜的粒子损伤保护

摘要

CO2气体放电激光器10包括垂直间隔开且彼此电绝缘的细长平面型带电电极和地电极(24，26)。电极由沿着电极的边缘布置的陶瓷间隔条(28)间隔开。辅助电极(32)位于带电电极的各端处、与带电电极共平面、在纵向上与带电电极间隔开、在垂直向上与地电极间隔开、但是电连接至地电极。辅助电极具有以比陶瓷条的内部边缘之间的距离小的距离间隔开的两个凸起部(33)。辅助电极的凸起部防止当激光器工作时由谐振腔中产生的激光辐射线腐蚀陶瓷条。

主权项

一种由射频(RF)功率驱动的气体放电激光器，包括：第一和第二细长平面型放电电极，所述第一和第二细长平面型放电电极布置为垂直间隔开且彼此平行，并且所述第一和第二细长平面型放电电极彼此电绝缘，其中第一电极用作带电电极且布置为接收来自其源的RF功率，第二电极用作地电极，所述放电电极由第一和第二电绝缘间隔条间隔开，所述第一和第二电绝缘间隔条具有第一和第二相对端且沿着所述电极的相对边缘布置，所述电极的内部边缘以第一距离横向间隔开，所述间隔条具有确定所述带电电极和所述地电极的垂直间隔的高度；第一镜和第二镜，所述第一镜和第二镜形成纵向延伸通过所述放电电极之间的空间的激光器谐振腔，以使得在当所述第一电极接收到RF功率时而在所述放电电极之间的激光气体中形成放电时，激光辐射线在所述激光器谐振腔中循环；以及在所述第一电极的各端处的平面型辅助电极，所述平面型辅助电极在纵向上与所述第一电极间隔开、在垂直向上与所述地电极间隔开且电连接至所述第二电极，所述延伸块具有在其上的两个凸起部，所述凸起部具有大致等于间隔条的高度且以小于所述第一距离的第二距离横向间隔开，由此使得所述激光辐射线对所述绝缘间隔条的腐蚀最小化。