可自动调平的光刻平台

摘要

本实用新型公开一种可自动调平的光刻平台，包括菲林架、底板、平台大玻璃、支撑平台和基板玻璃，支撑平台安装在底板上，基板玻璃定位安放于支撑平台上，菲林架与底板铰连翻盖于支撑平台上，所述菲林架包括上大下小的上框体和下框体，所述平台大玻璃可上下活动的安装于上框体内，上框体的框口设有防止平台大玻璃脱出上框体的限位件；所述下框体大于支撑平台，所述底板上设有支撑下框体使菲林架放平的调整垫块，菲林架放平后下框体低于支撑平台。本实用新型中的平台大玻璃可依靠自身的重量，自动调整，使其可以和基板玻璃紧密贴合，实现自动对位，无需人工调节，且对位准确，提高图形的精度，保证曝光的质量。

主权项

可自动调平的光刻平台，包括菲林架(1)、底板(2)、平台大玻璃(3)、支撑平台(4)和基板玻璃(5)，支撑平台(4)安装在底板(2)上，基板玻璃(5)定位安放于支撑平台(4)上，菲林架(1)与底板(2)铰连翻盖于支撑平台(4)上，其特征在于：所述菲林架(1)包括上大下小的上框体和下框体，所述平台大玻璃(3)可上下活动的安装于上框体内，上框体的框口设有防止平台大玻璃(3)脱出上框体的限位件；所述下框体大于支撑平台(4)，所述底板(2)上设有支撑下框体使菲林架(1)放平的调整垫块(6)，菲林架(1)放平后下框体低于支撑平台(4)。