动态探针检测系统

摘要

动态探针检测系统(29、32)用于包括探针(18)的类型的扫描探针显微镜，该探针(18)重复地向样品表面和远离样品表面地移动。当扫描样品表面时，干涉仪(88)产生用于指示在从探针(80a、80b、80c)反射的光和高度基准光束之间的路径差的输出高度信号。信号处理设备监控高度信号，并且导出用于指示探针的高度的每一个振荡周期的度量。这使得能够提取用于表示样品的高度的度量，而不依靠平均或滤波，该度量可以用于形成样品的图像。检测系统也可以包括反馈机构，该反馈机构可用于将反馈参数的平均值保持在设定的水平。

主权项

一种用于扫描探针显微镜的检测系统，所述系统包括：光源，用于产生光束以照亮重复地接近样品表面的振荡探针，所述探针包括具有底座和自由端的悬臂，所述自由端支撑尖锐的尖端；干涉仪，其被布置来检测在从所述探针反射的光和高度基准光束之间的路径差，并且输出用于指示这个路径差的高度信号；以及信号处理设备，其被布置来监控所述高度信号，并且得出用于指示所述探针的高度的每一个振荡周期的度量。