纳米磁性液体微致动泵

摘要

一种纳米磁性液体微致动泵，包括由键合层键合的上基片、中基片和下基片，上基片的内侧设有三个凹槽，上基片与中基片之间间隔有微管道，中基片上设有与上基片三个凹槽相对应的三个磁性液体工作腔，中基片与下基片之间设有弹性薄膜，弹性薄膜内分别设有出口阀的磁性液体、微致动体的磁性液体和入口阀的磁性液体；对应上基片内侧的左凹槽顶部内设有入口阀微型电磁线圈，对应上基片内侧的中凹槽顶部内两侧分别设有微致动体左侧电磁线圈和微致动体右侧电磁线圈，对应上基片内侧的右凹槽顶部内设有出口阀微型电磁线圈。通过控制微型电磁线圈交替通电与断电，使入口阀和出口阀开启或关闭以及使磁性液体微致动体向左、向右或复原，实现对微管道内液体的输送。

主权项

一种纳米磁性液体微致动泵，其特征在于：它包括由键合层(8)键合为一体的上基片(5)、中基片(6)和下基片(7)，上基片(5)的内侧设有左、中、右三个凹槽，上基片(5)与中基片(6)之间间隔有微管道(16)，中基片(6)上设有与上基片(5)三个凹槽相对应的左、中、右三个磁性液体工作腔(14、12、10)，中基片(6)与下基片(7)之间设有一层可分别穿过左、中、右三个磁性液体工作腔(14、12、10)进入左、中、右三个凹槽的弹性薄膜(15)，可分别穿过左、中、右三个磁性液体工作腔(14、12、10)的弹性薄膜(15)内分别设有入口阀的磁性液体(13)、微致动体的磁性液体(11)和出口阀的磁性液体(9)；对应上基片(5)内侧的左凹槽顶部内设有入口阀微型电磁线圈(1)，对应上基片(5)内侧的中凹槽顶部内两侧分别设有微致动体左侧电磁线圈(2)和微致动体右侧电磁线圈(3)，对应上基片(5)内侧的右凹槽顶部内设有出口阀微型电磁线圈(4)。