| 发明名称 | 卷轴装置和利用其的薄膜装载装置 | ||
| 摘要 | 本发明公开了卷轴装置和利用该卷轴装置的薄膜装载装置。所公开的卷轴装置包括：卷绕有半导体薄膜的供给卷轴；与所述供给卷轴布置在同一轴线上，卷绕有从所述半导体薄膜剥离的保护薄膜的卷收卷轴；分别驱动所述供给卷轴和卷收卷轴的驱动单元。 | ||
| 申请公布号 | CN102272028A | 申请公布日期 | 2011.12.07 |
| 申请号 | CN200980154199.0 | 申请日期 | 2009.12.14 |
| 申请人 | SEC株式会社 | 发明人 | 柳基雄;李相律 |
| 分类号 | B65H18/04(2006.01)I;B65H18/02(2006.01)I;H01L21/00(2006.01)I | 主分类号 | B65H18/04(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京铭硕知识产权代理有限公司 11286 | 代理人 | 金光军;韩明星 |
| 主权项 | 一种卷轴装置，其特征在于包括：卷绕有薄膜的供给卷轴；卷收卷轴，其与所述供给卷轴布置在同一轴线上，用于卷绕从所述薄膜剥离的保护薄膜；驱动单元，分别驱动所述供给卷轴和卷收卷轴。 | ||
| 地址 | 韩国京畿道 | ||