蓝光光盘用母盘及其制造方法

摘要

本发明公开了一种蓝光光盘用母盘的制造方法，该方法在形成光刻胶层前先在基片上形成一层碳化吸光层，并将光刻胶层形成于碳化吸光层上，因此，在后续的曝光及显影过程中，碳化吸光层能有效减少光线在界面上的反射，增加光刻胶层下表面的光能吸收，进而提高光线的吸收率，来提高光刻胶的感光分辨率，以增加光刻胶层底部的曝光宽度，使光刻胶层底部的曝光宽度接近上表面的宽度，增加沟槽斜率，从而提高沟槽密度以满足蓝光光盘的精度要求；另，本发明还公开了一种利用上述制造方法制造得到的蓝光光盘用母盘，其在曝光及显影后能有效提高光刻胶层的沟槽密度，从而满足蓝光光盘的精度要求。

主权项

一种蓝光光盘用母盘的制造方法，其特征在于，包括如下步骤：(1)在洁净基片的一侧面上旋涂形成一吸光层；(2)将旋涂有吸光层的基片送入烘炉，对所述吸光层进行烘烤使其在高温加热中碳化，形成碳化吸光层；(3)将形成有碳化吸光层的基片输出并自然冷却至室温；(4)在所述碳化吸光层上旋涂一层光刻胶，形成光刻胶层；(5)将旋涂有光刻胶层的基片送入烘炉，对所述光刻胶层进行烘烤；(6)将烘烤后的基片进行曝光处理，曝光所述光刻胶层；(7)将经曝光处理后的基片进行显影处理，使光刻胶层形成凹凸形结构；(8)在形成凹凸形结构的光刻胶层上电镀形成一金属膜层。